烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高，电热恒温烘箱， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位，宁波烘箱， 因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
烘箱的工作原理
循环方式及工作原理：本设备采用由循环风机吸取工作室内空气，吸入风道内，经过---元件，加热空气后将空气由风
道均匀的吹入工作室同工件进行热交换，再回到工作室顶部吸入顶部风道，构成一个强制对流循环。如此反复循环，使得工作室
温度升高。此设备构造和热风循环原理，鼓风恒温烘箱 ，---了烘箱内各区域的温度均匀性，排除了低温死角及盲区。门扣采用杠杆式门扣。美
观大方！
烘箱故障现象描述
闭合循环烘箱空气开关，立式烘箱，按照该烘箱的操作说明书设置好加热温度250℃，超温报警温度260℃，保温计时1h后，启动其自动运行程序，烘箱的循环风机、进风机、碟阀、加热等指示灯按顺序亮起，表明程序运行正常。加热运行2.5h后，温度仍然达不到设定值，如果加热时间过长，就会造成被加热玻璃容器易碎，坏瓶率升高。
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